各有關(guān)單位和個(gè)人：
2025年6月12日至7月12日，我局在深圳市工業(yè)和信息化局門戶網(wǎng)站公開(kāi)征集對(duì)《深圳市工業(yè)和信息化局高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程》（征求意見(jiàn)稿）的意見(jiàn)。截至7月12日，共收到4條意見(jiàn)。根據(jù)《深圳市行政機(jī)關(guān)規(guī)范性文件管理規(guī)定》（市政府令第305號(hào)）第十三條規(guī)定，現(xiàn)就公開(kāi)征求意見(jiàn)期間收集到的反饋意見(jiàn)及采納情況予以公示（詳見(jiàn)附件）。
特此通告。
附件：征求意見(jiàn)采納情況匯總表
深圳市工業(yè)和信息化局
2025年7月16日
| 附件 | |||
| 社會(huì)公眾意見(jiàn)采納情況匯總表 | |||
| 序號(hào) | 反饋主體 | 反饋意見(jiàn) | 采納情況 |
| 1 | *女士 | 《深圳市工業(yè)和信息化局高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程（審定稿）》中的“第八條 重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃：圍繞薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、薄膜量測(cè)設(shè)備等晶圓制造設(shè)備；曝光機(jī)等面板制造前、中道制程設(shè)備；超精密數(shù)控車床、銑床、磨床和復(fù)合加工機(jī)床；高端電子測(cè)試儀器、幾何量測(cè)儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器；重大深海采礦裝備等整機(jī)和核心零部件，開(kāi)展重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目。” 建議拓展扶持范圍，修改為：“第八條 重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃：圍繞薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、薄膜量測(cè)設(shè)備等晶圓制造設(shè)備；曝光機(jī)等面板制造前、中道制程設(shè)備；薄膜沉積設(shè)備等新能源領(lǐng)域裝備；超精密數(shù)控車床、銑床、磨床和復(fù)合加工機(jī)床；高端電子測(cè)試儀器、幾何量測(cè)儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器；重大深海采礦裝備等整機(jī)和核心零部件，開(kāi)展重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目。” 修改原因：基于技術(shù)攻關(guān)的產(chǎn)業(yè)適配性考量，薄膜沉積設(shè)備是實(shí)現(xiàn)光伏電池、鋰離子電池電極材料、儲(chǔ)能器件高效制備的核心裝備，在新能源領(lǐng)域具有關(guān)鍵支撐作用，其設(shè)備性能（如成膜均勻性、材料兼容性、工藝穩(wěn)定性）直接影響新能源產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化效率與使用壽命。而現(xiàn)有條款中已覆蓋的半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的薄膜沉積設(shè)備，與新能源裝備在底層技術(shù)（如物理/化學(xué)氣相沉積工藝控制、真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、精密溫控）存在高度共通性，將其納入扶持范圍，有助于推動(dòng) PVD、RPD、CVD、ALD 等先進(jìn)沉積技術(shù)在新能源領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用，并促進(jìn)跨領(lǐng)域技術(shù)經(jīng)驗(yàn)復(fù)用與攻關(guān)資源整合，加速高端薄膜沉積裝備在新能源場(chǎng)景的定制化創(chuàng)新，助力新能源產(chǎn)業(yè)核心裝備自主化與戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展。 | 部分采納。 理由：《深圳市工業(yè)和信息化局高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程》需嚴(yán)格按照《深圳市關(guān)于推動(dòng)高端裝備產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》（深工信規(guī)〔2024〕4號(hào)）》第（一）條“實(shí)施重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)計(jì)劃”有關(guān)表述內(nèi)容一致。后續(xù)我局開(kāi)展政策修訂研究將有關(guān)領(lǐng)域納入支持范疇。 |
| 2 | 深圳市**自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司 | 在《高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程》審定稿中，第一章、第三條 本規(guī)程所稱高端裝備產(chǎn)業(yè)，包括有“電子專用設(shè)備”一條，但是在第三章第八條“重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃：圍繞薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、薄膜量測(cè)設(shè)備等晶圓制造設(shè)備；曝光機(jī)等面板制造前、中道制程設(shè)備；超精密數(shù)控車床、銑床、磨床和復(fù)合加工機(jī)床；高端電子測(cè)試儀器、幾何量測(cè)儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器；重大深海采礦裝備等整機(jī)和核心零部件，開(kāi)展重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目”，卻未見(jiàn)“電子專用設(shè)備”的描述。 建議在第三章第八條“重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃” 中新增“電子專用設(shè)備”或“電子裝聯(lián)專用設(shè)備”，或明確為“超大尺寸芯片焊接設(shè)備”。 理由如下： 當(dāng)前，人工智能和數(shù)字經(jīng)濟(jì)作為新質(zhì)生產(chǎn)力的典型代表，已成為全球產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵風(fēng)口。特別是2023年以來(lái)，基于機(jī)器學(xué)習(xí)和深度學(xué)習(xí)的生成式AI技術(shù)呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)，進(jìn)一步推動(dòng)了人工智能和數(shù)字經(jīng)濟(jì)的蓬勃發(fā)展。而集成電路作為AI和數(shù)字經(jīng)濟(jì)的核心硬件基礎(chǔ)，其設(shè)計(jì)、制造、封裝和應(yīng)用技術(shù)直接決定著產(chǎn)業(yè)發(fā)展的速度與高度，尤其在AI服務(wù)器、智能駕駛、云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、模型訓(xùn)練等前沿領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。然而，超大尺寸芯片GPU的精密焊接工藝技術(shù)已成為制約行業(yè)快速發(fā)展的共性難題。 以最前沿的AI服務(wù)器為例，集成度極高的大型芯片GPU（1040億晶體管，4670焊點(diǎn)，尺寸83x76mm）、第二代GPU（2080億晶體管，）以及后續(xù)性能翻倍的第三代GPU架構(gòu)芯片，隨著尺寸不斷增大導(dǎo)致焊接不良率呈指數(shù)上升。超大尺寸芯片GPU的焊接良率過(guò)低導(dǎo)致生產(chǎn)成本居高不下，同時(shí)，GPU焊點(diǎn)的可靠性問(wèn)題將影響整個(gè)機(jī)柜運(yùn)行的更大潛在風(fēng)險(xiǎn)損失，例如金融行業(yè)、軍工行業(yè)。所以，超大尺寸芯片GPU的精密焊接工藝技術(shù)不僅影響全球芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，更對(duì)國(guó)產(chǎn)芯片在先進(jìn)封裝和高可靠性制造領(lǐng)域的突破構(gòu)成嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。大型 BGA 焊接良率過(guò)低導(dǎo)致成本過(guò)高難以普及已成為行業(yè)難題，同時(shí)也嚴(yán)重阻礙了人工智能的發(fā)展。該領(lǐng)域產(chǎn)品國(guó)內(nèi)外在產(chǎn)品良率方面普遍較低。在國(guó)內(nèi)集成電路芯片封裝的高端領(lǐng)域，目前高端產(chǎn)品主要依賴歐美國(guó)，中國(guó)國(guó)內(nèi)芯片焊接封裝的良率較低。 因此，超大尺寸芯片焊接設(shè)備是實(shí)現(xiàn)芯片與PCB(印刷電路板）可靠連接的核心裝備，是實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)芯片“智慧”生產(chǎn)的最后“一公里”。 隨著AI應(yīng)用的普及以及對(duì)算力的指數(shù)級(jí)需求，算力卡的核心器件-芯片的尺寸以及引腳數(shù)量也呈倍級(jí)增長(zhǎng)，導(dǎo)致最后芯片焊接到PCB 印刷電路板上時(shí)極易發(fā)生熱翹曲和焊接可靠性問(wèn)題，這也導(dǎo)致這一巨變對(duì)回流焊裝備控溫、熱應(yīng)力釋放的要求也越來(lái)越高。傳統(tǒng)的回流焊設(shè)備已不能滿足大尺寸焊接需求，成為制約“智慧”制造的關(guān)鍵瓶頸。國(guó)內(nèi)為廠商均尚無(wú)成熟方案，研發(fā)適合超大尺寸芯片焊接設(shè)備迫在眉睫。勁拓公司正在開(kāi)發(fā)的“超大尺寸芯片回流焊接設(shè)備”，它通過(guò)精確控溫系統(tǒng)，設(shè)定多溫區(qū)曲線，確保超大尺寸芯片受熱均勻、最小化熱翹曲，搭載多段高精運(yùn)輸傳送系統(tǒng)與不均衡加熱技術(shù)，配合氮?dú)獗Ｗo(hù)及極低壓焊接等環(huán)境控制，能高效完成焊接，保障焊接質(zhì)量與可靠性 。 | 部分采納。 理由：《深圳市工業(yè)和信息化局高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程》需嚴(yán)格按照《深圳市關(guān)于推動(dòng)高端裝備產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》（深工信規(guī)〔2024〕4號(hào)）》第（一）條“實(shí)施重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)計(jì)劃”有關(guān)表述內(nèi)容一致。后續(xù)我局開(kāi)展政策修訂研究將有關(guān)領(lǐng)域納入支持范疇。 |
| 3 | 深圳****科技股份有限公司 | 具體條款修改建議： 第三章 資助的項(xiàng)目類別、標(biāo)準(zhǔn)及其費(fèi)用范圍 第八條“重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃：圍繞薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、薄膜量測(cè)設(shè)備等晶圓制造設(shè)備；曝光機(jī)等面板制造前、中道制程設(shè)備；超精密數(shù)控車床、銑床、磨床和復(fù)合加工機(jī)床；高端電子測(cè)試儀器、幾何量測(cè)儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器；重大深海采礦裝備等整機(jī)和核心零部件，開(kāi)展重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目。” 建議增加“晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、套刻精度量測(cè)設(shè)備、電子束復(fù)檢設(shè)備”等晶圓制造設(shè)備，整體條款調(diào)整為第八條“重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)扶持計(jì)劃：圍繞薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、薄膜量測(cè)設(shè)備、晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、套刻精度量測(cè)設(shè)備、電子束復(fù)檢設(shè)備等晶圓制造設(shè)備；曝光機(jī)等面板制造前、中道制程設(shè)備；超精密數(shù)控車床、銑床、磨床和復(fù)合加工機(jī)床；高端電子測(cè)試儀器、幾何量測(cè)儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器；重大深海采礦裝備等整機(jī)和核心零部件，開(kāi)展重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目。 增加原因分析： 晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備、套刻精度量測(cè)設(shè)備、電子束復(fù)檢設(shè)備等晶圓制造設(shè)備與薄膜量測(cè)設(shè)備一樣也屬于重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)，因此建議增加進(jìn)入本次扶持計(jì)劃方向之內(nèi)。” | 部分采納。 理由：《深圳市工業(yè)和信息化局高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持計(jì)劃操作規(guī)程》需嚴(yán)格按照《深圳市關(guān)于推動(dòng)高端裝備產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》（深工信規(guī)〔2024〕4號(hào)）》第（一）條“實(shí)施重大戰(zhàn)略性原創(chuàng)性項(xiàng)目攻關(guān)計(jì)劃”有關(guān)表述內(nèi)容一致。后續(xù)我局開(kāi)展政策修訂研究將有關(guān)領(lǐng)域納入支持范疇。 |
| 4 | 深圳****科技有限公司 | 第四章第十三條的第(三)點(diǎn)關(guān)于申報(bào)條件及材料 ，我公司認(rèn)為有必要進(jìn)行適當(dāng)補(bǔ)充和完善 在當(dāng)前的高端裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展中，除了發(fā)明專利具有較高的技術(shù)含量和創(chuàng)新價(jià)值外，實(shí)用新型專利同樣發(fā)揮著不可忽視的作用。實(shí)用新型專利主要針對(duì)產(chǎn)品的形狀、構(gòu)造或者其結(jié)合所提出的適于實(shí)用的新的技術(shù)方案，它能夠更快速地對(duì)一些具有創(chuàng)新性的技術(shù)改進(jìn)給予保護(hù)，激勵(lì)企業(yè)和科研人員在技術(shù)研發(fā)過(guò)程中注重細(xì)節(jié)優(yōu)化和實(shí)用性提升。在高端裝備領(lǐng)域，許多關(guān)鍵零部件的結(jié)構(gòu)改進(jìn)、設(shè)備的優(yōu)化設(shè)計(jì)等都可能通過(guò)實(shí)用新型專利的形式體現(xiàn)出來(lái)，這些成果對(duì)于推動(dòng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品升級(jí)換代具有重要意義。 因此，我公司建議在第四章第十三條的第(三)點(diǎn)中對(duì)申報(bào)條件及材料的要求，除了“發(fā)明專利”，還應(yīng)增加“實(shí)用新型專利”。即修改為“(三)項(xiàng)目單位獲得制造業(yè)單項(xiàng)冠軍企業(yè)、國(guó)家專精特新“小巨人”企業(yè)、廣東省或深圳市“專精特新”企業(yè)稱號(hào)，或擁有與申報(bào)項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的研究成果(包括發(fā)明專利、實(shí)用新型專利，或國(guó)家、省、市認(rèn)定的科技成果等)” 這樣的修改能夠更全面地涵蓋高端裝備產(chǎn)業(yè)中不同類型的創(chuàng)新成果，更有利于激發(fā)各類創(chuàng)新主體的積極性，促進(jìn)高端裝備產(chǎn)業(yè)的多元化創(chuàng)新發(fā)展，更好地契合扶持計(jì)劃推動(dòng)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的初衷 | 采納。 |
